パ－ティクル除去、イオン除去等超精密洗浄に対応した洗浄装置です。
特　　　　徴
●イオン残渣汚れの除去が可能です。
●ワ－ク材料に適した洗浄剤の選択が多岐にわたり可能です。
●ユニット化により、大幅コストダウンした装置も開発。
●速乾性を考慮した㈱大塚独自の溶剤乾燥システムが併用出来ます。
●引火性が無く、環境に優しい。
適 応 分 野
 HDD部品・ウエハ－・液晶関連・携帯電話部品・レンズ・各種部品　等
 
洗浄グレード
粗 精密
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
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